אילו אלומינה בעלת טהרה גבוהה מסוג 4N5/5N היא הטובה ביותר? מדריך לבחירה של אלומינה אלקטרונית-דרגה למדרגות יציקה בדמך, צולבות אלקטרוסטטיות וניקליד אלומיניום

אילו אלומינה בעלת טהרה גבוהה מסוג 4N5/5N היא הטובה ביותר? מדריך לבחירה של אלומינה אלקטרונית-דרגה למדרגות יציקה בדמך, צולבות אלקטרוסטטיות וניקליד אלומיניום

עם ההתקדמות המואצת של חצי מוליכים ואלקטרוניקה עוצמתית, רמת הטהרה, הזרבים והגודל החלקיקי של אלומינה בעלת טהרה גבוהה קובעים ישירות את תכונות הבדלה, מוליכות החום ואת משך החיים של רכיבי קרמיקה. אלומינה אלקטרונית-דרגה בעלת טהרה גבוהה מסוג 4N5/5N של שנדונג גריטסאן אופנג מתאימה לדרישה להחלפה מקומית של קרמיקה אלקטרונית מתקדמת, ומספקת ללקוחות במעלה הזרם פתרונות אבקה יציבים.  

א. מדוע אלומינה בעלת טהרה גבוהה מסוג 4N5 היא חומר גולמי קריטי למדרגות יציקה בדמך דקיקות במיוחד וגדולות?

לחומרים המשמשים לייצור סובסטרטים בשיטת הזריקה (tape casting) יש דרישות קשיחות ביותר לנקיות האבקה ולחיזוק פיזור גודל החלקיקים. זיהומים גבוהים מדי של מתכות אלקליות או מתכות כבדות גורמים לעלייה באובדן דיאלקטרי ולירידה בחוזק הפיצוץ הדיאלקטרי. מצד שני, פיזור גודל חלקיקים רחב מדי גורם לעובי לא אחיד של הסובסטרט הלא מאופר (green tape), מה שגורם לסובסטרטים דקים במיוחד ובממדים גדולים להתעקלות ולנוכחות חורים. אלומינה בעלת נקיות גבוהה מאוד מסוג Greatsun Aopeng 4N5 מציעה נקיות Al2O3 של 99.995%, Na ≤ 7 ppm, Fe ≤ 1 ppm, ופיזור גודל חלקיקים צר עם D50 = 0.505 מיקרומטר. היכולת המمتازה שלה להתפשט בתרבויות נוזליות משפרת באופן משמעותי את הצפיפות הנפחית והשטיחות של סובסטרטים דקים במיוחד, מה שהופך אותה למושלמת לסובסטרטים אלומיניים בעלי ביצועים גבוהים לשימוש במודולי הספק ובערכות תדר גבוה.  

ב. אילו הן הדרישות הקשיחות של מחזיקי אלקטרוסטטיים (ESC) לנקיות האלומינה?

שכבה דיאלקטרית של מחזיק אלקטרוסטטי (ESC) פועלת לאורך זמן בסביבת פלזמה, שבה זרנים כמו נתרן וברזל גורמים להגירה של יונים בטמפרטורות גבוהות, מה שמוביל לעלייה בזרם דליפת והפסקת החזקה. אלומינה זו מסדרה 4N5 שולטת בנתרן ברמת ≤ 7 ppm, ברזל ברמת ≤ 1 ppm, ובסך כל חמצני הארסן והאנטימון ברמת ≤ 1.8 ppm, כאשר כל זרני המתכות המעבר עומדים במדדי הדרישות לאלקטרוניקה. עם אובדן בעריכה ניתן לשליטה (LOI = 0.48%), היא מושגת צפיפות שרוף גבוהה, ניקוז נמוך, ועמידות מעולה בפני בלאי פלזמה, מה שהופך אותה לאידיאלית לשכבות דיאלקטריות מבודדות ב-ESC ולרכיבי תמיכה מבניים.

חלק ג': כיצד אלומינה ברמה גבוהה משפרת את הביצועים של קרמיקה מורכבת של ניטריד אלומיניום?

בעוד שקרמיקה של ניטריד אלומיניום (AlN) מציגה מוליכות תרמית יוצאת דופן, היא סובלת ממספר מגבלות בתחום התנגדות החשיפה לאוקסידציה והיכולת לעצב או לעבד אותה. הוספת אלומינה ברמה גבוהה של טהרה כפאזה שנייה משפרת את התאימות בין הפאזות במשטח המגע, מחזקת את העמידות המכנית והתנגדות האוקסידציה של הקרמיקה המשולבת, ומרחיבה את חלון התהליך של השיקוע. זה מאופטם את ניהול החום, מקטין את מורכבות הייצור, ובכך מרחיב את גבולות השימוש בקרמיקה של ניטריד אלומיניום בתת-הבסיסים להפצת חום וברכיבי ציוד סמי-מוליכים.  

כשהתעשייה של ציוד סמי-מוליכים והתקני כוח מתפתחת, הביקוש להחלפה מקומית של אבקות קרמיקה מתקדמת ממשיכה לגדול. האלומינה בעלת הניקיון הגבוה (4N5/5N) של שנדונג גריטסאן אופנג משרתת תחומים מרכזיים כגון תת-שכבות יציקה בדקיקות, מחזיקים אלקטרוסטטיים וקרמיקה משולבת של AlN, ומביאה עמידות עקבית בין партиות. אנו מזמינים ביצוע בדיקות דוגמאות ושאלות טכניות.