Альуминийн оксидын 4N5/5N өндөр цэвэрлэгдүүр хувилбаруудын аль нь хамгийн сайн? Таслах тавиур, статик электрон хавтгай, алюминий нитрид хүүрдүүрт ашиглагдах электрон ангины альуминийн оксидын сонголтын заавар.

Альуминийн оксидын 4N5/5N өндөр цэвэрлэгдүүр хувилбаруудын аль нь хамгийн сайн? Таслах тавиур, статик электрон хавтгай, алюминий нитрид хүүрдүүрт ашиглагдах электрон ангины альуминийн оксидын сонголтын заавар.

Хагас дамжуулагчид, чадал электроникийн хурдан шинэчлэлттүүрт өндөр цэвэрлэгдүүр альуминийн оксидын цэвэрлэгдүүр, холимог бүрдүүлэлт, бөөмийн хэмжээ нь шамотан хүүрдүүртүүдийн изоляци, дулаан дамжуулалт, үйлдлийн хугацаа шууд тодорхойлдүүр. Шаньдун Грейтсън Аопэнгийн 4N5/5N электрон ангины өндөр цэвэрлэгдүүр альуминийн оксид нь өндөр түвшний электрон шамотан хүүрдүүртүүдийн гадаад орлуулалтын шаардлагад хариу үзүүлдүүр, доод холбооны худалдан авагсадад тогтвортой нунтаг шийдэл үзүүлдүүр.  

I. Яагаад 4N5 өндөр цэвэрлэгдүүр альуминийн оксид нь ултрамөнгөн, том хэмжээт таслах тавиуртүүдийн чухал анхдагч материал?

Тэйп хаях суурин нь нунтаг цэвэрлэг, бөөмийн хэмжээний тархалтын хувьд үл хүртүүлэх шаардлагатай. Хэт их шоргоолжын металл юм уу хүнд металл холимок нь диэлектрик алдагдалд нэмэлт нөлөө үзүүлж, диэлектрик дүүрэлтийн хүчийг бууруулж. Харин бөөмийн хэмжээний тархалт хэт өргөн бөөмс нь хүрэлцэх тэйпийн зүйлд тодорхой бүтэн биш налтсын зүйлд хүргэдэг, ийнхүл хүндрүүлсэн, том хэмжээтэй суурин нь хүрэлцэх төрхтүүлэлд юм уу хоосон хүрдтүүлэлд ордог. Грейтсън Аопэнг 4N5 Өндөр Цэвэрлэг Алуминиум нь Al2O3 цэвэрлэг 99.995%, Na ≤ 7 ppm, Fe ≤ 1 ppm, бөөмийн хэмжээний тархалт нь D50 = 0.505 μm-тэй. Суспензион сааралдамж нь гайхалтай бөөмснүүр, ийнхүл хүндрүүлсэн суурин нь нүүрснүүр, талбайн төрхтүүлэлд ажиллах чадварыг нэмэгдүүлдэг, ийнхүл хүчдлийн модуль, өндөр давтамжийн хэлхээд ажиллах өндөр үр дүнтүүлэлт алуминиум суурин нь түүнд тохиромжтой.  

II. Электростатик хавтгай (ESC) алуминиум цэвэрлэгийн хувьд ямар хатуу шаардлагатай?

Электростатик чак-ийн диэлектрик давхрага плазмын орчинд урт хугацааны турш ажилладаг, үүнд Na ба Fe зэрэг холимог нүүдлийн температур өндөрсөж, хүрээс дотогш гүйрэлт өсөж, барих үйлдэл алдагдаж байдаг. Энэ 4N5 алюмины оксид Na-ийн агууламжийг ≤ 7 ppm, Fe-ийн агууламжийг ≤ 1 ppm, арсен ба сурьмын оксидуудын нийт агууламжийг ≤ 1.8 ppm түвшинд хадгалдаг; бүх шилжилтийн металлын холимогууд электрон ангины шаардлагыг бүрдүүлдэг. Шатах үед алдагдах хүндийн хэмжээ (LOI = 0.48%) хяналт доор байх тул шатаасан нягт өндөр, порын хувь бага, плазмын нүүрлэлтэд тойргоо хадгалдаг, иймд ESC-ийн изоляцион диэлектрик давхрага болон бүтцэн дэмжлэх деталд тохиромжтой.

III. Өндөр цэвэр алюмины оксид алюминий нитрид холимог сэрэмжлэх хүрдүүдийн үйлдлийн чанарыг яаж сайжруулдаг?

Алюминий нитрид (AlN) керамика дулаан дамжуулалтад гайхалтай чадвар үзүүрлэдэг, гэтэдүүр түүнд исэлдэлд төвөгтэй бөөрсөн хүчирхүйлүүр болон бүтээлд төвөгтэй бөөрсөн хүчирхүйлүүр гэмтэл байдаг. Өндөр цэвэр алюминий оксидыг хоёрдугаар фаза гэж нэмж оруулах нь хоёр фазын хоорондын заагт нийцүүрлүүр уртасгаж, нийлмүүл керамикийн механик хүчирхүйлүүр болон исэлдэлд төвөгтэй бөөрсөн хүчирхүйлүүрийг сайжруулж, шинтэрлүүр процессийн цонхыг өргөтгөдөг. Энэ нь дулаан удирдлагыг сонгомол хийн, үйлдвэрлэлд төвөгтэй бөөрсөн хүчирхүйлүүрийг бүүр багасгадөг, ийнхүү алюминий нитрид керамикийн дулаан сарниулж бүтээлд хэрэглэх хүрээсийг өргөтгөдөг.  

Хагас дамжуулагч төхөөрөмж ба хүчдэлийн төхөөрөмжийн салбарууд үлдээж буй технологийн түвшин дээшлэхтүн, өндөр чанарын цэрэмик нунтагт хүртэмүүр орлуулалтын гуйлт үлдээж буй темпом өсөж буй. Шаньдун Грейтсан Аопэнгийн 4N5/5N өндөр цэвэрлэгдүүн алюминий оксид нь лента хаялтын суурин, статик электрон хавтгай, AlN холимог цэрэмик гэх мэт түлхүүр салбаруудад үлдээж буй тогтвортой бүтэц үзүүлж буй. Бид та нарын жишээний шинжилгээ ба техник асуултад хүлээж буй.