EN
Qaysi 4N5/5N yuqori tozalikdagi alyumina eng yaxshisi? Tape casting asoslarida, elektrostatik chucklarda va alyuminium nitridda elektron darajadagi alyuminani tanlash qo'llanmasi
Yarimo'tkazgichlar va quvvat elektronikasi tez rivojlanib borayotganligi sababli, yuqori tozalikdagi alyuminaning tozaligi, aralashmalar va zarrachalar o'lchami keramika komponentlarining izolyatsiya xususiyatlari, issiqlik o'tkazuvchanligi hamda foydalanish muddati uchun bevosita muhim ahamiyatga ega. Shandong Greatsun Aopengning 4N5/5N elektron darajadagi yuqori tozalikdagi alyuminasi yuqori darajadagi elektron keramikalarning mahalliy almashtirilishini ta'minlash talabini qondiradi va pastki zanjirdagi mijozlarga barqaror kukun yechimlarini taklif etadi.
I. Nima uchun 4N5 yuqori tozalikdagi alyumina juda ingichka va katta hajmli tape casting asoslar uchun muhim asosiy xom ashyo?
Lenta-siyrilish substratlari uchun chang tozaligi va zarrachalar o'lchami taqsimoti bo'yicha juda qat'iy talablar qo'yiladi. Ortiqcha miqdordagi shkaloid metallar yoki og'ir metallar aralashmalari dielektrik yo'qotishni oshirib, dielektrik buzilish kuchlanishini pasaytiradi. Aksincha, zarrachalar o'lchami taqsimotining juda keng bo'lishi nam (yopishqoq) lenta qalinligining bir tekis bo'lmasligiga sabab bo'ladi, bu esa ultrayuqori ingichka va katta o'lchamli substratlarning burkilishiga va shakillanishiga olib keladi. Greatsun Aopeng 4N5 Yuqori Tozalikdagi Alyumina Al2O3 tozaligini 99,995%, Na ≤ 7 ppm, Fe ≤ 1 ppm va D50 = 0,505 μm bo'lgan tor zarrachalar o'lchami taqsimotini ta'minlaydi. U ajoyib suspensiyani tarqatish xususiyatiga ega bo'lib, ultrayuqori ingichka substratlarning umumiy zichligi va tekisligini sezilarli darajada oshiradi; shu sababli u quvvat modullari va yuqori chastotali elektr zanjirlarida ishlatiladigan yuqori samarali alyumina substratlari uchun aynan mos keladi.
II. Elektrostatik choklar (ESC) uchun alyuminaning tozaligi bo'yicha qanday qattiq talablar mavjud?
Elektrostatik chuck (ESC) dielektrik qatlamining plazma muhitida uzoq muddat ishlashi sodir bo'ladi, bu yerda Na va Fe kabi aralashmalar yuqori haroratli ion migratsiyasini keltirib chiqaradi, natijada sivishtirish oqimi ortadi va mahkamlash a'zosi ishlamay qoladi. Bu 4N5 alumina Na miqdorini ≤ 7 ppm, Fe ni ≤ 1 ppm darajasida nazorat qiladi, shuningdek, umumiy arsen va antimon oksidlari miqdorini ≤ 1,8 ppm darajasida saqlaydi; barcha o'tish metallari aralashmalari elektron darajali me'yorni to'liq qondiradi. Boshqariladigan yo'qotilishni yonishda (LOI = 0,48 %) ta'minlaydigan ushbu material yuqori sinterlangan zichlikka, past porozlikka va a'lo darajadagi plazma eroziyasi qarshiligiqa ega bo'lib, ESC izolyatsiya dielektrik qatlamalari hamda tuzilma qo'llab-quvvatlovchi komponentlari uchun ideal hisoblanadi.
III. Yuqori tozalikdagi alumina alyuminий nitrid kompozit keramikalarining ishlash samaradorligini qanday yaxshilaydi?
Aluminiy nitrid (AlN) keramikasi ajoyib issiqlik o'tkazuvchanligiga ega bo'lsa-da, u oksidlanishga chidamlilik va shakllanish/ishlov berish qobiliyatida cheklovlar bilan duch keladi. Yuqori tozalikdagi alumina ni ikkinchi fazo sifatida kiritish ikki fazo orasidagi moslikni yaxshilaydi, kompozit keramikaning mexanik mustahkamligi va oksidlanishga chidamliligini oshiradi hamda spetsial sinterlash jarayoni doirasini kengaytiradi. Bu issiqlikni boshqarishni optimallashtiradi va ishlab chiqarish murakkabligini kamaytiradi, shu tufayli aluminiy nitrid keramikasining issiqlikni tarqatuvchi substratlar va yarimo'tkazgichli uskunalar komponentlaridagi qo'llanilishi doirasini kengaytiradi.
Yarimo'tkazgich uskunalari va quvvat qurilmalari sohasidagi yangilanishlar tufayli yuqori darajadagi sirkoniyli g'ovaklarning mahalliy almashtirilishi bo'yicha talab doimiy ravishda o'sib bormoqda. Shandong Greatsun Aopengning 4N5/5N yuqori tozalikdagi alyuminiy oksidi lentali quyish asoslari, elektrostatik pichqoq tutqichlari va AlN aralash sirkoniyli g'ovaklar kabi muhim sohalarga yetkaziladi va har bir partiyada barqarorlikni ta'minlaydi. Namuna sinovlarini va texnik savollarga xush kelibsiz.
